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  • 準(zhǔn)分子激光器: CL 5000
準(zhǔn)分子激光器: CL 5000

準(zhǔn)分子激光器: CL 5000

  • 準(zhǔn)分子激光器: CL 5000 準(zhǔn)分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準(zhǔn)分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。

產(chǎn)品詳情

準(zhǔn)分子激光器: CL 5000


       準(zhǔn)分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準(zhǔn)分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。


CL  5000系列技術(shù)參數(shù)：


激光介質(zhì)

ArF

KrF

XeCl

波長  (nm)

193

248

308

最大脈沖能量  (mJ)

20

40

25

最大重復(fù)頻頻率(Hz)

CL  5100
CL 5200
CL 5300

100
200
300

最大平均功率  (W)

CL  5100
CL 5200
CL 5300

2
4
5

4
8
10

2.5
5
7

脈沖能量穩(wěn)定度(sigma,  %)

 <  2

光斑尺寸  (VхH, mm)

12  х  3.5

12  х  4

光束發(fā)散角(FWHM,  mrad, VхH)

2  х  1

脈沖持續(xù)時間  (FWHM, ns)

8  –  12

冷卻方式

CL  5100

風(fēng)冷

CL  5200/5300

水冷

重量  (kg)

80

尺寸  (LхWхH, mm)

780  х  330 х 583

電源

220  V, 50 Hz, <  1000 VA

        

可選功能和附件：


1000Kz型號可選

窄線寬型號可選，線寬0.03cm-1

F2，157nm型號可選


CL  5000系列主要特點(diǎn)：


陶瓷放電激光腔設(shè)計(jì)，長壽命

激光腔，電子系統(tǒng)一體化設(shè)計(jì)
功率穩(wěn)定運(yùn)行模式

預(yù)混合供氣，使用簡單

計(jì)算機(jī)控制


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