NSC-3000（A）全自動磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(最高可加熱到700度)功能，最大到6"旋轉(zhuǎn)平臺，最大可支持到3個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。
NSC-3000（A）帶有14”立方形鋁質(zhì)腔體，3個2”的磁控管，DC直流和RF射頻電源。 在選配方面，我們提供不銹鋼腔體，260 l/s渦輪分子泵，額外的磁控管和襯底加熱功能。
NSC-3000（A）全自動磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點：
不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃
70或250l/s的渦輪分子泵，串接機械泵或干泵
13.56MHz，300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
帶觀察視窗的腔門易于上下載片
基于LabView軟件的PC計算機控制
帶密碼保護功能的多級訪問控制
完全的安全聯(lián)鎖功能
預(yù)真空鎖以及自動晶圓片上/下載片
NSC-3000（A）全自動磁控濺射系統(tǒng)選配項：
不銹鋼腔體
RF、DC濺射
RF或DC偏壓（1000V）
樣品臺可加熱到700°C
膜厚監(jiān)測儀
基片的RF射頻等離子清洗
NSC-3000（A）全自動磁控濺射系統(tǒng)應(yīng)用：
晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆
光學(xué)以及ITO涂覆
帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆
帶RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射
聯(lián)系人：林經(jīng)理
電 話：0755-29852340，29852450
手 機：13510161192
郵 箱：arlen.lin@szkesda.com
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