快速退火爐(RTP/RTA)是半導(dǎo)體材料和器件常用的一款工藝設(shè)備?？焖偻嘶馉t可以在真空、惰性氣氛、不同的工藝氣體環(huán)境下使用。
VPO-300是一款很有特點的快速退火爐，有非常大的退火空間，適合大尺寸樣品的熱處理。
儀器特點：
- 快速熱處理、快速熱退火 RTP / RTA；
- 可在真空、甚至于高真空環(huán)境使用；
- 加熱區(qū)域尺寸：300毫米 X 300毫米；
- 廣泛用于太陽能電池片快速退火工藝，如156mm X 156mm電池片，300mm X 300mm電池片等；
聯(lián)系人：林經(jīng)理
電 話：0755-29852340，29852450
手 機：13510161192
郵 箱：arlen.lin@szkesda.com
地 址：深圳市光明區(qū)公明街道水貝北路大新華達工業(yè)園3號203